介紹pH測(cè)量是半導(dǎo)體工廠(chǎng)里對(duì)許多工藝過(guò)程進(jìn)行監(jiān)控的重要部分。pH測(cè)量zui常用于反滲透系統(tǒng)(通常被稱(chēng)作“pre-RO”)、回收系統(tǒng)、冷卻塔、洗滌器和工廠(chǎng)污水處理系統(tǒng)中對(duì)水進(jìn)行的預(yù)處理過(guò)程。因?yàn)楣S(chǎng)的各類(lèi)應(yīng)用存在許多不同，所以選擇*pH探頭難度很大。這篇論文概述了各種應(yīng)用，以及pH測(cè)量有可能出現(xiàn)的難題，并且針對(duì)單個(gè)應(yīng)用推薦*使用pH電極。 pH電極pH測(cè)量包含兩種基本電極– 測(cè)量和參比電極。目前市場(chǎng)上已經(jīng)有非常多的測(cè)量和參比電極，因此就很難作出選擇。要選擇*電極需要考慮到諸多因素，例如化學(xué)成分、流速、溫度、pH范圍和污染物等級(jí)。當(dāng)今半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用的有三種基本測(cè)量電極–玻璃電極、銻電極和離子敏感場(chǎng)效應(yīng)晶體管(ISFET)電極，和許多不同種類(lèi)的參比電極。本文中著重涉及的是測(cè)量電極。表1 中對(duì)這三種測(cè)量電極的屬性分別進(jìn)行分析，其中“1”代表， “3”代表zui差。該表是在參考目錄1至7的內(nèi)容基礎(chǔ)上，加上作者本人經(jīng)驗(yàn)得出來(lái)的。圖1分別是離子敏感場(chǎng)效應(yīng)晶體管(ISFET)探頭，玻璃(球形和扁平)探頭，和銻探頭。